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产品详情
产品特点
完善的射频和离子源控制系统；快速达到放电稳定状态（10s以内）；中和器快速稳定（3s以内）；在导轨上移动，移动距离大于3米；法兰安装方便；配射频中和器。
应用领域：
离子束抛光，离子束溅射，离子束辅助镀膜
产品型号 | ION-12 | ION-17 | ION-23 |
真空压力 | <1x10-1Pa | <5x10-2Pa | |
BEAM电压 | 100v-1000v | 100v-1500v | |
加速电压 | -100v--1000v | ||
束流 | 300mA | 1500mA | 2500mA |
射频功率 | 600w | 1000w | 2000w |
气体流量 | 氩气：20sccm-40sccm 氧气：40sccm-80sccm | ||
栅网类型 | 钼栅：12cm 三栅结构 | 钼栅：17cm 三栅结构 | 钼栅：23cm 三栅结构 |
冷却方式 | 线圈水冷，本体水冷 | ||
外形尺寸 | φ400*h300mm | φ400*h300mm | |
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