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產品詳情


產品應用於等離子體真空系統,具有高可靠性的電源


產品性能


該電源輸出功率可達2500W到6000W ,頻率13.56MHz,標準正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩定、可重複等優點。其固態設計使得該產品價格低、可靠性高。電源采用大屏幕液晶顯示:設定功率、入射功率、反射功率、狀態等參數,同時還可以顯示匹配器的運行參數並且通過電源面板可操作射頻匹配器。


應用對象


該電源可以作為射頻驅動等離子體系統的電源,該系統可應用於半導體工業。應用對象包括:刻蝕、RIE、平行板、ICP、磁控濺射、CVD、PVD、等離子清洗和PECVD等系統。


產品規格

2500W

4000W

5000W

6000W

輸出功率

0-2500W 

0-4000W

0-5000W

0-6000W

工作穩定度

≤±0.5%

輸出頻率

13.56MHz

頻率信號

標準正弦波

輸入電壓

AC2200V 2PH)

AC380V 3PH

AC208V 3PH

輸入電流

8A(16A

20A

30A

輸出阻抗

50Ω

承受駐波比

3.0

冷卻方式

水冷

通訊口

RS232/RS485  標準Modbus

模擬控製接口

DB15

輸出接口

N/UHF

N7/16

N7/16

機箱尺寸

440x445x130mm

440x500x130mm

440x500x130mm

面板尺寸

480x133mm

重量

25kg

28kg

30Kg


PG系列射頻電源(大功率)
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