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產品詳情
13.56MHz射頻電源（大功率）
應用於等離子體真空系統，具有高可靠性的電源
產品性能
該 電 源 輸 出 功 率 可 達 2 5 0 0 W 到 5 0 0 0 W ， 頻 率13.56MHz，標準正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩定、可重複等優點。其固態設計使得該產品價格低、可靠性高。電源采用大屏幕液晶顯示：設定功率、入射功率、反射功率、狀態等參數，同時還可以顯示匹配器的運行參數並且通過電源面板可操作射頻匹配器。
應用對象
該電源可以作為射頻驅動等離子體系統的電源，該系統可應用於半導體工業。應用對象包括：刻蝕、RIE、平行板、ICP、磁控濺射、CVD、PVD、等離子清洗和PECVD等系統。
產品規格 | 2500W | 4000W | 5000W |
輸出功率 | 0-2500W | 0-4000W | 0-5000W |
工作穩定度 | ≤±0.5% | ||
輸出頻率 | 13.56MHz | ||
頻率信號 | 標準正弦波 | ||
輸入電壓 | AC380V（AC220V) | AC380V 3PH | |
輸入電流 | 8A(16A） | 20A | |
輸出阻抗 | 50Ω | ||
承受駐波比 | ＞3.0 | ||
冷卻方式 | 水冷 | ||
通訊口 | RS232/RS485 標準Modbus | ||
模擬控製接口 | DB15 | ||
輸出接口 | N/UHF | N或7/16 | |
機箱尺寸 | 440x445x130mm 標準3U | 440x500x130mm 標準3U | |
面板尺寸 | 480x133mm | ||
重量 | 25kg | 28kg | |
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