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產品詳情
2MHz射頻電源
產品性能
該射頻電源采用E類放大器，實現***率、高可靠性。大的冗餘設計，使其具有長期滿功率輸出能力。特殊的濾波網絡，實現波形的純淨。諧波性能優越，可承受開路、短路等極端衝擊。大屏幕液晶顯示：設定功率、入射功率、反射功率、狀態等參數
產品性能
該電源可以作為射頻驅動等離子體系統的電源。應用對象包括：刻蝕、PECVD、磁控濺射、ICP等 。
控製方式
該電源控製方式多樣：RS232、RS485、DeviceNet和模擬口等方式。
產品規格 | 1250W | 2500W |
輸出功率 | 0-1250W | 0-2500W |
工作穩定度 | ≤±0.5% | |
輸出頻率 | 2MHz | |
頻率信號 | 標準正弦波 | |
輸入電壓 | AC180-250V | |
輸入電流 | 10A | 10A/三相 |
輸出阻抗 | 50Ω | |
冷卻方式 | 風冷 | 水冷 |
通訊口 | RS232/RS48525kg
標準Modbus | |
模擬控製接口 | DB15 | |
輸出接口 | N | |
機箱尺寸 | 459x440x89mm 標準2U | 459x440x133mm 標準3U |
面板尺寸 | 480x89mm | 480x133mm |
重量 | 13kg | 25kg |
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