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產品詳情
13.56MHz自動匹配器
產品性能
匹配器系統采用高速匹配算法，當接近匹配點時，這種高速匹配算法會逐漸的減緩系統的速度，即使在“Q”值很高時也很容易找到匹配點。匹配器可以很快的將輸入阻抗調整為50Ω，調整的準確性和可靠性可以很快的響應負載特性變化。
應用對象
該自動匹配器主要應用對象包括：刻蝕、ICP、光學鍍膜、等離子清洗、等離子體增強、感應加熱及PECVD等系統。
產品規格 | BM-1K | BM-2K | BM-3K | BM-5K | |
匹配範圍 | 0-600W | 0-1500W | 0-300W | 20-5000W | |
輸出頻率 | 13.56MHz | ||||
輸入電壓 | AC180-250V | ||||
輸出電流 | 0.5A | ||||
冷卻方式 | 風冷 | 水冷 | |||
輸入接口 | N/UHF | 7/16型或N型 | |||
輸出接口 | UHF/銅帶 | 銅管/銅帶 | |||
安裝方式 | 為了得到***工作性能，匹配器安裝必須靠近真空室 | ||||
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