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產品詳情
ESC靜電卡盤電源
產品特點
1.電源寄存能量低，內置電流限製和保護電路設計使設備免受浪湧和電弧的損害。2.通過輸出極性轉換，降低了夾盤上***電荷的風險。3.短路和開路設計增加了設備的可靠性。4.突出的夾緊性能使本產品更適用於半導體晶片生產過程中。
應用對象
靜電卡盤電源可為半導體晶片轉移所使用的靜電夾盤提供穩定的功勞輸出。
輸出/輸入隔離 | ＞500Ω |
輸出電壓 | 0-+/-1500VDV對地，端對端***3000VDC |
輸出電流 | ***2mA |
輸出穩定性 | ≤0.1% |
輸出波紋 | ≤0.5% |
輸出電壓線性度 | ≤0.5%F.S. |
輸出極性反轉 | 配備 |
輸出放電 | 配備 |
電源輸入要求 | 24DC，1A |
輸出接口 | HV+和HV-使用MHV連接器，HVCT使用BNC連接器 |
模擬接口 | DB25 |
通訊接口 | DB9 |
使用環境 | 0-45℃，10-90%相對濕度，無凝結 |
儲存溫度 | 0-70℃ |
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