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產品詳情
產品介紹
該射頻電源采用3U半機箱設計，整機功率密度高。支持連續波、脈衝、多級脈衝的工作模式。可自定義配置脈衝信號，響應速度快，信號質量高。
應用特征
該電源主要應用對象包括：刻蝕、ICP、光學鍍膜、等離子清洗、等離子體增強、感應加熱及PECVD等系統。
參數名稱 | 技術要求 | 備注 |
| 工作頻率 | 13.56MHz±5% | 可拓寬頻率範圍 |
輸出功率 | 6000W | |
輸出模式 | CW,Pulse，ML-Pulse | |
脈衝頻率/占空比 | 10Hz-20KHz，5%-95% | 可拓頻率和占空比 |
輸出阻抗 | 50Ω | |
頻率穩定性 | ±1% | |
輸出功率精度 | ±1W or ±1% of set point | |
設定功率精度 | 1W ,0.1W for HALO unit | |
諧波 | ＜-50dBc | |
上升沿 | ＜20ms | |
耐駐波比 | ＞3.0 | |
通信接口 | E-CAT | RS232、RS485、DeviceNet、Profibus可選 |
供電電壓 | 208VAC 3Φ | |
冷卻方式 | 水冷 | |
外形尺寸 | 3U全機箱，進深500mm |
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