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Product Introduction

1KW自动匹配器(带显示)

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1KW自动匹配器(带显示)

1KW自动匹配器(带显示)

由国内外提供技术,国内生产的GMPOWER品牌射频自动匹配器,广泛适用于等离子刻蚀体、镀膜、清洗、等离子体增强、感应加热以及太阳能制造设备PECVD制造中,具有功率覆盖范围大(50W-5KW)、匹配时间短(≤3秒)、指示功能全、操作简单等优势,可通过数字接口实施计算机数据采集和控制,轻松实现时入射功率、反入射功率、直流偏压等的精确测量。该匹配器与电源完全独立,可配置AE、COMDEL、MKS、微电子中心等多家品牌的射频电源,最大限度节约射频系统成本.

  • 产品描述
  • *功率:600W/、1KW 频率:13.56MHz
  • *系统采用高速配算法,即使系统处于高Q值也可在接近匹配点时减速,达到精确匹配效果
  • *标准配置采用可调的L型匹配网络,满足绝大部分负载要求,也可根据客户负载阴抗设计配置匹配网络,实现自动匹配
  • *内置数字功率计,可现实入射功率、反射功率、指示精度3%,有效弥补国内电源功率指示不标准问题

                                    1Kw有显示

电源输出

AC180-240V 50Hz

冷却方式

强制风冷

输出电流

0.5A

机箱尺寸

450mm(长)*320mm(宽)*133.5(高)

射频功率范围

0-1KW

面板尺寸

480mm()*140mm()

射频工作频率

13.56MHz

重量

8kg

射频输入接头

N型或UHF

 

 

射频输出接头

N/UHF/铜带型

 

 

用户接口

DB15针接口,采用RS232RS485通讯协议