网站首页 > 产品介绍

Product Introduction

5KW自动匹配器

请选择型号:

5KW自动匹配器

5KW自动匹配器

由国内外提供技术,国内生产的GMPOWER品牌射频自动匹配器,广泛适用于等离子刻蚀体、镀膜、清洗、等离子体增强、感应加热以及太阳能制造设备PECVD制造中,具有功率覆盖范围大(50W-5KW)、匹配时间短(≤3秒)、指示功能全、操作简单等优势,可通过数字接口实施计算机数据采集和控制,轻松实现时入射功率、反入射功率、直流偏压等的精确测量。该匹配器与电源完全独立,可配置AE、COMDEL、MKS、微电子中心等多家品牌的射频电源,最大限度节约射频系统成本.

  • 产品描述
  • *功率: 20W-5KW 频率:13.56MHz
  • *系统采用高速配算法,即使系统处于高Q值也可在接近匹配点时减速,达到精确匹配效果
  • *标准配置采用可调的L型匹配网络,满足绝大部分负载要求,也可根据客户负载阴抗设计配置匹配网络,实现自动匹配
  • *配套公司标准电源可方便面板操作,手动/自动,预置位置,显示电容位置等

                                    5KW无显示

电源输出

AC180-240V 50Hz

冷却方式

         水冷

输出电流

0.5A

机箱尺寸

425mm(长)*320mm(宽)

*177(高)

射频功率范围

20W-5KW

重量

12kg

射频工作频率

13.56MHz

 

 

射频输入接头

7/16型或UHF

 

 

射频输出接头

铜管型/铜带型

 

 

用户接口

DB15针接口,采用RS232RS485通讯协议