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产品详情
13.56MHz射频电源（大功率）
应用于等离子体真空系统，具有高可靠性的电源
产品性能
该 电 源 输 出 功 率 可 达 2 5 0 0 W 到 5 0 0 0 W ， 频 率13.56MHz，标准正弦波。该系列电源具有功率输出精度高、稳定、可重复等优点。其固态设计使得该产品价格低、可靠性高。电源采用大屏幕液晶显示：设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数，同时还可以显示匹配器的运行参数并且通过电源面板可操作射频匹配器。
应用对象
该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源，该系统可应用于半导体工业。应用对象包括：刻蚀、RIE、平行板、ICP、磁控溅射、CVD、PVD、等离子清洗和PECVD等系统。
产品规格 | 2500W | 4000W | 5000W |
输出功率 | 0-2500W | 0-4000W | 0-5000W |
工作稳定度 | ≤±0.5% | ||
输出频率 | 13.56MHz | ||
频率信号 | 标准正弦波 | ||
输入电压 | AC380V（AC220V) | AC380V 3PH | |
输入电流 | 8A(16A） | 20A | |
输出阻抗 | 50Ω | ||
承受驻波比 | ＞3.0 | ||
冷却方式 | 水冷 | ||
通讯口 | RS232/RS485 标准Modbus | ||
模拟控制接口 | DB15 | ||
输出接口 | N/UHF | N或7/16 | |
机箱尺寸 | 440x445x130mm 标准3U | 440x500x130mm 标准3U | |
面板尺寸 | 480x133mm | ||
重量 | 25kg | 28kg | |
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