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产品详情

13.56MHz射频电源(通用型)

应用于等离子体真空系统,具有高可靠性的电源


产品性能


该电源输出功率可达500W到1250W,频率13.56MHz,标准正弦波。该系列电源具有功率输出精度高、稳定、可重复等优点。电源采用大屏幕液晶显示:设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数,同时还可以显示匹配器的运行参数并且通过电源面板可操作射频匹配器。


应用对象


该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源,该系统可应用于半导体工业。应用对象包括:刻蚀、RIE、平行板、ICP、磁控溅射、CVD、PVD、等离子清洗和PECVD等系统。


产品规格

500W

600W

750W

1000W

1250W

输出功率

0-500W 

0-600W

0-750W

0-1000W

0-1250W

工作稳定度

≤±0.5%

输出频率

13.56MHz

频率信号

标准正弦波

输入电压

AC180-250V

输入电流

5A

输出阻抗

50Ω

承受驻波比

>3.0

冷却方式

风冷

通讯口

RS232/RS485

标准Modbus

模拟控制接口

DB15

输出接口

N/UHF

机箱尺寸

440x382x84mm

标准2U

面板尺寸

480x89mm

重量

8.5kg

15kg



13.56MHz射频电源(通用型)
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