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产品详情

13.56MHz自动配器


产品性能


匹配器系统采用高速匹配算法,当接近匹配点时,这种高速匹配算法会逐渐的减缓系统的速度,即使在“Q”值很高时也很容易找到匹配点。匹配器可以很快的将输入阻抗调整为50Ω,调整的准确性和可靠性可以很快的响应负载特性变化。


应用对象


该自动匹配器主要应用对象包括:刻蚀、ICP、光学镀膜、等离子清洗、等离子体增强、感应加热及PECVD等系统。


产品规格

BM-1K

BM-2K

BM-3K

BM-5K

匹配范围

0-600W 

0-1500W 

0-300W 

20-5000W 

输出频率

13.56MHz

输入电压

AC180-250V

输出电流

0.5A

冷却方式

风冷

水冷

输入接口

N/UHF

7/16型或N型

输出接口

UHF/铜带

铜管/铜带

安装方式

为了得到工作性能,匹配器安装必须靠近真空室


13.56MHz自动匹配器
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