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产品详情

ESC静电卡盘电源


产品特点


1.电源寄存能量低,内置电流限制和保护电路设计使设备免受浪涌和电弧的损害。

2.通过输出极性转换,降低了夹盘上电荷的风险。

3.短路和开路设计增加了设备的可靠性。

4.突出的夹紧性能使本产品更适用于半导体晶片生产过程中。


应用对象


单极

双级

可选功能

ESC-3000D:

输出50-3KV,2mA

ESC-3002:可输出±1.5KV,2mA

极性切换,快速放电,判断wafer吸附状态,偏压可检测可设置(双极),快速切换,穿刺功能,通讯可选(Modbus、EtherCAT)


ESC-3004S:

输出50-3KV,4mA

ESC-4002:可输出±2KV,2mA

ESC-3002S:

输出50-3KV,2mA

ESC-4100:可输出±2KV,100mA

ESC-3001S:

输出50-3KV,1mA

ESC-1501:可输出±7.5KV,1mA

ESC-8001S:

输出80-8KV,1mA

ESC-4050:可输出±2KV,50mA


ESC-4100H:ESC快速切换电源,100mA




ESC静电卡盘电源系列
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