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产品详情
350KHz-450KHz低频电源
产品性能
低频电源提供50-3000W功率输出，频率范围350KHz-450KHz。机箱整体采用半机箱结构设计使其体积更小便于安装。设计采用固态设计使产品性价比更高、可靠性更强。
应用对象
该电源作为射频驱动等离子体系统的电源，主要应用于半导体领域。应用对象包括：刻蚀、PECVD、PVD等系统
产品规格 | 600W | 1000W | 3000W |
输出功率 | 0-600W | 0-1000W | 0-3000W |
射频精度 | 1% | ||
输出频率 | 350KHz-450KHz | ||
频率信号 | 标准正弦波 | ||
输入电压 | AC180-250V | ||
输入电流 | 5A | 10A | 16A |
输出阻抗 | 50Ω | ||
脉冲频率 | 100Hz-10KHZ | ||
占空比 | 10%-90% | ||
冷却方式 | 风冷 | 水冷 | 水冷 |
通讯口 | RS232/RS48525kg Device Net | ||
模拟控制接口 | DB15 | ||
输出接口 | N | ||
机箱尺寸 | 标准3U | 标准3U | 标准3U |
面板尺寸 | 240x132mm | ||
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