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产品详情
产品介绍
该射频电源采用3U半机箱设计，整机功率密度高。支持连续波、脉冲、多级脉冲的工作模式。可自定义配置脉冲信号，响应速度快，信号质量高。
应用特征
该电源主要应用对象包括：刻蚀、ICP、光学镀膜、等离子清洗、等离子体增强、感应加热及PECVD等系统。
参数名称 | 技术要求 | 备注 |
| 工作频率 | 13.56MHz±5% | 可拓宽频率范围 |
输出功率 | 6000W | |
输出模式 | CW,Pulse，ML-Pulse | |
脉冲频率/占空比 | 10Hz-20KHz，5%-95% | 可拓频率和占空比 |
输出阻抗 | 50Ω | |
频率稳定性 | ±1% | |
输出功率精度 | ±1W or ±1% of set point | |
设定功率精度 | 1W ,0.1W for HALO unit | |
谐波 | ＜-50dBc | |
上升沿 | ＜20ms | |
耐驻波比 | ＞3.0 | |
通信接口 | E-CAT | RS232、RS485、DeviceNet、Profibus可选 |
供电电压 | 208VAC 3Φ | |
冷却方式 | 水冷 | |
外形尺寸 | 3U全机箱，进深500mm |
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