18610611799
产品详情
产品介绍
该射频电源整机功率密度高。该系列电源具有功率输出精度高、稳定、可重复等优点。采用大屏幕液晶显示：设定功率，反射功率，状态等参数。
应用特征
该电源主要应用对象包括：刻蚀、ICP、光学镀膜、等离子清洗、等离子体增强、感应加热及PECVD等系统。
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该射频电源整机功率密度高。该系列电源具有功率输出精度高、稳定、可重复等优点。采用大屏幕液晶显示：设定功率，反射功率，状态等参数。
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该电源主要应用对象包括：刻蚀、ICP、光学镀膜、等离子清洗、等离子体增强、感应加热及PECVD等系统。
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