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产品详情

多级脉冲电源TI-3013&TI-6013

该射频电源采用3U半机箱设计,整机功率密度高

支持连续波、脉冲、多级脉冲的工作模式

可自定义配置脉冲信号,响应速度快,信号质量高

快速的信号响应时间,以及脉冲上升/下降时间

支持高速、高精度的调频功能,扫频范围宽。内设多种保护机制,稳定性高



应用特征

该电源主要应用对象包括:刻蚀、ICP、光学镀膜、等离子清洗、等离子体增强、感应加热及PECVD等系统。



参数名称

TI3013

TI6013

备注

工作频率

13.56MHz±5%

13.56MHz±5%

可拓宽频率范围

输出功率

0-3000W

0-6000W

HALO模式

输出模式

CW,Pulse,ML-Pulse

CW,Pulse,ML-Pulse

多级脉冲

脉冲频率/占空比

10Hz-20KHz,5%-95%

10Hz-20KHz,5%-95%

可拓频率和占空比

输出阻抗

50Ω

50Ω


调频

100ms

100ms

DFT &AFT 可选

输出功率精度

±1W or ±1% of set point

±1W or ±1% of set point


设定功率精度

1W ,0.1W for HALO unit

1W ,0.1W for HALO unit


谐波

<-50dBc

<-50dBc


上升沿

<20ms

<20ms


耐驻波比

>3.0

>3.0


通信接口

E-CAT

E-CAT

RS232、RS485、DeviceNet、Profibus可选

供电电压

208VAC  3Φ

208VAC  3Φ

可支持380VAC

冷却方式

水冷

水冷


外形尺寸

3U半机箱

3U半机箱



多级脉冲电源系列
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