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产品详情
产品性能：
大功率电源是新一代射频电源发生器，单台输出功率可达30KW。产品广泛应用于LCD、光伏等行业。典型应用包括溅射、PECVD和表面处理
产品特征：
采用先进的功率发生器，输出功率高，稳定可靠；搭配12寸工业触控屏，方便控制于显示；自主研发的高功率电源匹配器，能实现快速匹配；具备电弧抑制功能，可以有效抑制负载产生的电弧；多种报警监控机制，有效保障设备稳定运行
输出频率 | 13.56MHz/27.12MHZ |
频率信号 | 标准正弦波 |
输出功率精度 | ±1% |
输出阻抗 | 50Ω |
承受驻波比 | ＞3.0 |
输入电压 | 三相380VAC |
人机界面 | 12寸触控屏 |
冷却方式 | 水冷+风冷 |
水冷温度范围 | ＜25℃ |
水冷压力 | 0.4~0.6 Mpa |
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