产品性能:
高功率电源是新一代射频电源发生器,单台输出功率可达30KW。产品广泛应用于LCD、光伏等行业。典型应用包括溅射、PECVD和表面处理
产品特征:
采用先进的功率发生器,输出功率高,稳定可靠;搭配12寸工业触控屏,方便控制于显示;自主研发的高功率电源匹配器,能实现快速匹配;具备电弧抑制功能,可以有效抑制负载产生的电弧;多种报警监控机制,有效保障设备稳定运行
输出频率 | 13.56MHz/27.12MHZ |
频率信号 | 标准正弦波 |
输出功率精度 | ±1% |
输出阻抗 | 50Ω |
承受驻波比 | >3.0 |
输入电压 | 三相380VAC |
人机界面 | 12寸触控屏 |
冷却方式 | 水冷+风冷 |
水冷温度范围 | <25℃ |
水冷压力 | 0.4~0.6 Mpa |