產品性能:
高功率電源是新一代射頻電源發生器,單台輸出功率可達30KW。產品廣泛應用於LCD、光伏等行業。典型應用包括濺射、PECVD和表面處理
產品特征:
采用先進的功率發生器,輸出功率高,穩定可靠;搭配12寸工業觸控屏,方便控製於顯示;自主研發的高功率電源匹配器,能實現快速匹配;具備電弧抑製功能,可以有效抑製負載產生的電弧;多種報警監控機製,有效保障設備穩定運行
輸出頻率 | 13.56MHz/27.12MHZ |
頻率信號 | 標準正弦波 |
輸出功率精度 | ±1% |
輸出阻抗 | 50Ω |
承受駐波比 | >3.0 |
輸入電壓 | 三相380VAC |
人機界面 | 12寸觸控屏 |
冷卻方式 | 水冷+風冷 |
水冷溫度範圍 | <25℃ |
水冷壓力 | 0.4~0.6 Mpa |