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产品详情
DM系列双频匹配器
产品性能：
该匹配器能够提供快速、准确和可靠的阻抗变换。可变电容由电机驱动，电机通过计算主板控制。
采用高速的匹配算法，可以调节电机的转速，即使是高Q值的系统也能达到准确的匹配效果。
通过调整内部继电器,调节不同档位,达到匹配。
应用对象：
该双频匹配器主要应用对象包括：刻蚀、PECVD系统
电源电压 | 24V,±10% |
电源频率 | DC |
电源电流 | 5A |
电源模式 | 连续波波形 |
输入阻抗 | 50 Ohm |
工作温度 | 5℃ to 40℃ |
相对湿度 | 5%-85% |
冷却方式 | 风冷 |
输出接口 | N/HN/铜柱等 |
附加功能 | VI Prob |
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